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北京科创鼎新真空技术有限公司
主营：氦检漏设备,氦质谱检漏仪,LNG抽真空设备
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氦质谱检漏仪的准确性
注意使用的环境。标准漏孔的生产、检测，都是在20-25℃的室温下进行。尤其有些标准漏孔，国产氦质谱检漏仪厂家，对温度特别敏感。温度每变化1℃，标准漏孔的漏率就有3%以上的误差。例如，真空氦质谱检漏仪厂家，夏天，室温达到30℃，这种标准漏孔的漏率误差增加30%。在此种情况下，氦质谱检漏仪自检通过了，但是漏率的误差反而增加了30%；氦质谱检漏仪检测的结果怎么能准确？
氦质谱检漏仪要想使用的好，准确度高，那就要正确使用标准漏孔。
检漏仪的故障和处理
1 内部的泄漏
当检漏仪内部存在泄漏时，会对检漏工作造成较大干扰，容易造成误检、误判。各零部件接口处的密封部位。如放大器与质谱室、离子源与质谱室、分子泵与质谱室、标准漏孔与阀门组件、真空计与阀门组件等接口间的橡胶圈密封。采用喷氦法寻找漏点，更换密封件。
2 本底信号不稳定
1）本底信号过高有可能是环境本底被污染，注意检查室内是否有氦气源在泄漏。将室内的门窗打开通风，降低环境本底。
2）本底信号过高也有可能是因为质谱室被污染。检漏仪若经常检测含有油污、粉尘等杂质较多的被检件时，质谱室极易被污染，需返厂进行清洗，本底信号不稳定，检查电源电压是否稳定，检漏仪应有可靠的接地。
3）本底信号不稳定，小型氦质谱检漏仪厂家，检查泵油是否浑浊，被污染。
氦质谱检漏仪的结构和工作原理
氦质谱检漏仪是180°磁偏转型的质谱分析计，其基本原理是根据离子在磁场中运动时，不同质荷比的离子具有不同的偏转半径来实现不同种类离子的分离。检漏仪主要由质谱室、真空系统及电气控制部分组成。检漏工作时先打开抽空阀前级泵对检漏接口抽真空，当真空度P1 优于200 Pa 时，打开入口阀1、2，关闭抽空阀，氦气将逆着分子泵的抽气方向进入质谱室中被检测出来，此时检漏仪的较小可检漏率为10- 10 Pa·m3/s。前级泵继续对检漏接口抽真空，当P1降至20 Pa 时，入口阀2 关闭，入口阀3 打开，分子泵的高抽速用于抽空试件，检漏仪的反应时间缩短，此时检漏仪的较小可检漏率为10- 12 Pa·m3/s。
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第5年
