这种双面加工,一般速度不高。下模比较大,上模比较小,挡圈直径比上模大,比下模小。适当地调节上模的摆动量,可以实现平板的上下表面同时精磨或抛光。研磨或抛光时,人工将磨料或抛光粉间断地添加到下模和平板的表面。这种低速的双面加工,比单面加工提高了效率,但被加工的平面度和双面的平行度则达不到很高的要求,所以只适用于般精度平板的加工。
随着大规模、超大规模集成电路制造技术的发展,由于大批量半导体硅片加工的需要,国外出现了双面高速加工机床,适用于半导体硅片的双面研磨和抛光,进而被推广到高速研磨抛光光电仪器中的光学平板。
光学面包板采用铁磁不锈钢材质精加工而成,顶板上设有规则的间隔,内部采用三层夹心结构、上台面为不锈钢,光学平板,内芯采用蜂窝状支撑结构,地面为碳钢,增加刚性,减少重量,光学面包板定制,抗振性好。表面粗糙度: 0.8-1.6um,振幅: < 5μm,光学面包板厂家,平面度: < 0.05mm/m2。
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固有频率:固有频率也称自然频率,物体做自由振动时,其位移时间按正弦或余弦规律变化,振动的规律与初始条件无关,而仅与系统的固有特性有关(如质量、形状、材质... ...),称为固有频率,其对应周期称为固有周期,物体做自由振动时,其位移随时间按正弦规律变化,又称为简谐振动,简谐振动的振幅及初相位与振动的初始条件有关,振动的周期或频率与初始条件无关,而与系统的特性有关,称为固有频率或者固有周期物体自由振动。
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