




洁净棚的温湿度控制非常重要,不合宜的温湿度会影响洁净效果。但是温湿度的控制主要还是根据工艺要求来确定的,工艺性高也就代表着洁净度越高。
湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高,粘附的难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产温度范围为35—45%。
具体工艺对温度的要求以后还要列举,不锈钢洁净棚哪家好,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,孝感洁净棚,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。


定做洁净棚FFU如何选择?
常见的FFU就是镀铝锌板制作的,价格适中,用户可自行选择。
304不锈钢FFU价格昂贵,常配304不锈钢方通支撑架。
洁净棚封板材料如何选择?
常见的有防静电网格帘,条形帘,洁净棚供应,价格适中,也可以选择钢板,有机玻璃.
洁净棚照明灯如何选择?
一般用户都是选择的普通照明灯,有防爆要求的可选择防爆灯。


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