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扫描电镜之电子探针显微分析

显微结构分析

电子探针是利用0.5μm－1μm的高能电子束激发所分析的试样，三维重构中心，通过电子与试样的相互作用产生的特征X 射线、二次电子、吸收电子、 背散射电子及阴极荧光等信息来分析试样的微区内(μm范围内)成份、形貌和化学结合状态等特征。电子探针成分分析的空间分辨率（微区成分分析所能分析的区域）是几个立方μm范围， 微区分析是它的一个重要特点之一， 它能将微区化学成份与显微结构对应起来，是一种显微结构的分析。而一般化学分析、 荧光分析及光谱分析等，是分析试样较大范围内的平均化学组成，也无法与显微结构相对应， 不能对材料显微结构与材料性能关系进行研究。

台式扫描电镜具有良好电磁屏蔽功能

台式扫描电镜是全数字化控制，级电子显微成像分析仪器，配置有三级电磁透镜，大变焦范围，长工作距离，多孔径光阑，轻松获得材料表面媲美大型扫描电镜的高分辨、大景深、高质量的微观形貌导航图；拓展简单易用，东营三维重构，台式电镜X射线能谱仪，三维重构价格，能快速获得微米亚微米范围微小区域化学元素定性定量结果；在工作条件固定模式下，台式扫描电镜也是一款率的成像检测设备。

台式扫描电镜全数字控制，级电子显微成像仪器，标配SE探测器，选配BSE探测器，可选样品仓低真空环境功能，直接测试非导电样品，XYZ三轴大行程自动样品台，可选自动控制，多重弹簧橡胶隔振减振系统，三维重构机构，主机设计紧凑，系统高度集成，良好散热及电磁兼容性能，轻质合金外壳，数字加工成型，具有良好电磁屏蔽功能。

台式扫描电镜对生物智能材料的研究

生物智能材料一直是材料领域的热门方向，尤其是在医学领域的应用，其点滴的创新都能对科技发展起到推动作用。但由于其选材覆盖面广泛、结构尺寸微小，所以对扫描电镜的综合观测能力具有较高的要求。

电镜Phenom ProX具有150，000的放大倍数、8nm的分辨率，轻松观测纳米尺度，如液态金属纳米球；

· 采用背散射、二次电子双探头，轻松获取原子序数和表面形貌衬度图像，为客户提供更多的样品信息；

· 能谱分辨率达 123eV，分析样品中元素的分布和含量；

· 电镜具有的真空设计，即使面对导电性较差的样品，也可直接观测，无需喷金，如图所示未喷金的聚（PS）小球，基本没有出现荷电现象；

· 电镜操作十分简便、，经过一日的系统培训即可独立操作，数分钟即可完成一个样品的观测，大大提升了测试效率。