






扫描电子显微镜的结构:
扫描电子显微镜是由三大部分组合而成的:真空系统,电子束系统还有成像系统。
1.真空系统,主要包含真空泵以及真空柱这两部分。真空柱是一个密封的柱形容器,真空泵则用来在真空柱内产生真空。
2.电子束系统,电子束系统主要是由电子以及电磁透镜这两部分组合而成,主要用于产生一束能量分布极窄的、电子能量确定的电子束用以扫描成像。电子用于产生电子,主要有利用场致发射效应产生电子还有利用热发射效应产生电子两种。
3.成像系统,电子通过一系列电磁透镜成束之后,打到样品上和样品相互作用,三维重构哪家好,会产生次级电子、背散射电子、欧革电子还有X射线等一系列信号。因此需要不同的探测器比方说次级电子探测器、X射线能谱分析仪等来区分这些信号为了获得所需要的信息。

高分辨率台式扫描电镜和透射电镜操作上的差异
这两种电子显微镜系统在操作方式上也有所不同。扫描电镜通常使用15kV以上的加速电压,三维重构机构,而透射电镜可以将其设置在60-300kV的范围内。
与扫描电镜相比,透射电镜提供的放大倍数也相当高:透射电镜可以将样品放大5000万倍以上,而对于扫描电镜来说,限制在1-2百万倍之间。
然而,扫描电镜可以实现的视场(FOV)远大于透射电镜,用户可以只对样品的一小部分进行成像。同样,扫描电镜系统的景深也远高于透射电镜系统。

全自动扫描电镜位于焦平面上下的一小层区域内的样品点都可以得到良好的会焦而成象,这一小层的厚度称为场深,通常为几纳米厚,所以可以用于纳米级样品的三维成像,工作距离指从物镜到样品高点的垂直距 离,如果增加工作距离,可以在其他条件不变的情况下获得更大的场深,如果减少工作距离,则可以在其他条件不变的情况下获得更高的分辨率。全自动扫描电镜电子和背散射电子可以用于成象,三维重构价格,但后者不如前者,所 以通常使用次级电子。
由于电子束只能穿透样品表面很浅的一层,所以只能用于表面分析。表面分析以特征X射线分析常用,大理三维重构,所用到的探测器有两种:能谱分析仪与波谱分析仪,前者速度快但精度不高,后者非常,可以检测到“痕 迹元素”的存在但耗时太长。全自动扫描电镜的组成结构,了解其组成结构有利于我们更加合理的使用扫描电镜,从而延长扫描电镜的使用寿命及提高操作


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