






需要熟悉的扫描电镜基本操作
基本操作包括熟练的调节对焦和消像散。对焦相对容易,改变焦距,直至图像清楚的时刻即为合焦。在偏离焦距较多的时候可以用较高的灵敏度,在合焦点附近调低灵敏度,以便进行准确对焦。
基本操作中消像散相对来说比较麻烦,特别是像散很大时,对于很多初学者来说调节比较困难。不过前面已经介绍了像散的产生,电子束由于不再是圆形,所以在像散未消除的情况下,图像是不清晰的。不过其中有两个特殊的位置,即光学中的子午和弧矢,在这两个位置上束斑完全成正交的直线。而明晰圆一般在弧矢和子午的中间。
有关拉伸方向的判断并不困难,试样中的各种特征点都可以作为判断依据,尤其在像散比较大时,电镜测试中心,不要焦距和像散的两个维度乱调一气,以免像散过大而完全无从判断。

扫描电镜和透射电镜设备的不同点:
高分辨率台式扫描电镜使用—组特定的线圈以光栅样式扫描样品并收集散射的电子。
透射电镜是使用透射电子,收集透过样品的电子。因此,透射电镜提供了样品的内部结构,如晶体结构,形态和应力状态信息,而扫描电镜则提供了样品表面及其组成的信息。
而且,这两种设备的差别之一是它们可以达到的空间分辨率;扫描电镜的分辨率被限制在~0.5nm,而随着近在球差校正透射电镜中的发展,已经报道了其空间分辨率甚至小于50pm。

扫描电镜对样品的要求
样品制备方法
1、块样
对于金属、岩矿或无机物,切割成要求的尺寸,粘在样品台上。如果样品数量多,注意样品尺寸一致。
微区成份分析样品表面应该平台或经研磨抛光,可以保证检测时几何条件不变。对于样品的断口面,要选择起伏不大的部位,是分析点附近有小的平坦区。样品表面和底面应该平行。
非导电或导电性较差的材料,要***行镀膜处理,在材料表面形成一层导电膜。以避免电荷积累,影响图像质量,并可防止试样的热损伤。
2、粉样
(1)微米级粉料:将粉样撒在样品台的双面胶上,电镜测试机构,用手指轻弹样品台四周,电镜测试费用,粉料会均匀地向四周移动,铺平一层,文山电镜测试,侧置样品台,把多余粉料抖掉;用纸边轻刮、轻压粉料面,使粉料与胶面贴实;用耳球从不同方向吹拂粉料。经此过程,粉料已牢固、均匀地粘在双面胶上。
(2)对于亚微米级或纳米粉料进行成分分析:利用压片机压成结实的薄片。把薄片用双面胶粘在样品台上 。


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