






扫描式电子显微镜工作原理
扫描式电子显微镜是一种超高分辨的具表面测试技术的分析仪器。可用于微粒、金属薄片等表面性质的研究。主要是利用电子束在样品表面上逐点扫描,通过电子束与样品相互作用,从样品上激发出与样品性质有关的各种信息(如二次电子、背射电子、`X`射线等),通过分别收集这些从样品上激发出的信息,经电子线路放大处理后输入以阴极射线管的栅极,控制其电子束的强弱,也即控制阴极射线管的亮度来显示样品的图象。可进行各种图象观察、元素分析及品体结构分析。
扫描式电子显微镜的制造依据是电子与物质的相互作用。
扫描式电子显微镜从原理上讲就是利用聚焦得非常细的高能电子束在试样上扫描,天津金属样品电镜分析,激发出各种物理信息。通过对这些信息的接受、放大和显示成像,获得测试试样表面形貌的观察。

扫描电镜之电子探针的试样要求
具有较好的电导和热导性能
金属材料一般都有较好的导电和导热性能,而硅酸盐材料和其它非金属材料一般电导和热导都较差。后者在入射电子的轰击下将产生电荷积累,造成电子束不稳定,图像模糊,并经常放电使分析和图像观察无法进行。试样导热性差还会造成电子束轰击点的温度显著升高,往往使试样中某些低熔点组份挥发而影响定量分析准确度度。
电子束轰击试样时,只有0.5%左右的能量转变成X 射线, 其余能量大部份转换成热能,热能使试样轰击点温度升高,Castaing用如下公式表示温升△T(K):
式中V。(kV)为加速电压,i(μA)为探针电流,d(μm)为电子束直径,k 为材料热导率(Wcm-1k-1)。例如,对于典型金属(k=1 时),当V。=20kV,d=1μm,i=1μA 时,△T=96K。 对于热导差的典型晶体,k=0.1,典型的有机化合物k=0.002。对于热导差的材料,如K=0.01, V0=30kV, i=0.1μA, d=1μm时, 由公式得ΔT=1440K。如果试样表面镀上10nm的铝膜,则ΔT减少到760K。因此, 对于硅酸盐等非金属材料必须在表面均匀喷镀一层20nm左右的碳膜、铝膜或金膜等来增加试样表面的导电和导热性能。

扫描电镜对样品的要求
(1)样品必须是***、无性的物质,以保证工作人员的人身安全;
(2)样品可以是块状、片状、纤维状,也可以是颗粒或粉末状,无论是什么样的样品都不能是有机挥发物和含有水分,如果将含有水分的样品放在镜筒内能产生2种严重不良后果:一是当真空达不到要求强行通高压时,其产生的水蒸汽遭遇高能电子生电离而放电引起束流大幅度波动,使所成的像模糊,或根本不能成像;二是造成镜筒污染;三是损坏灯丝,当高能电压通过灯丝时,温度高达2000Ο,碰到水蒸汽而氧化变质或熔断,因此,应先烘干样品中的水分;
(3)无论是块状样品,还是粉末颗粒状样品,其化学、物理性质要稳定,在高真空中的电子束照射下,都要能保持成分稳定和形态不变;
(4)表面受到污染的样品,要在不破坏样品表面结构的前提下,进行适当清洗、烘干;
(5)无论是样品的表面,还是样品新断开的断口或断面,一般不需要进行处理,以保持全自动扫描电子显微镜原始的结构状态;


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