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九鼎（天津）新材料科技有限公司
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国产台式扫描电镜采用钨灯丝电子，加速电压在1-15kV范围内连续可调，搭配二次电子探测器、背散射电子探测器、集成式oxford能谱仪，同时满足形貌观测及元素分析需求。当有电流流经灯丝时，阴极被直接加热，扫描电镜测试中心，钨灯丝中的电子受热激发，扫描电镜测试费用，在加速电场的作用下，电子定向发射。在正常的工作温度下，电子从大约100um×150um的面积发射离开“V”形阴极。当阴极的发射温度增加时，其发射电流以指数的方式快速增长，使得束斑亮度大增。
影响扫描电镜的分辨本领的主要因素有：
A. 入射电子束束斑直径：为扫描电镜分辨本领的极限。一般，热阴极电子的很小束斑直径可缩小到6nm，扫描电镜测试哪家好，场发射电子可使束斑直径小于3nm。
B. 入射电子束在样品中的扩展效应：扩散程度取决于入射束电子能量和样品原子序数的高低。入射束能量越高，样品原子序数越小，则电子束作用体积越大，产生信号的区域随电子束的扩散而变大，从而降低了分辨率。
C. 成像方式及所用的调制信号：当以二次电子为调制信号时，由于其能量低(小于50 eV)，平均自由程短(10~100 nm左右)，只有在表层50～100 nm的深度范围内的二次电子才能逸出样品表面， 发生散射次数很有限，基本未向侧向扩展，因此，二次电子像分辨率约等于束斑直径。
这些不同细节的部位发出的二次电子数各不相同，从而产生亮暗不一的衬度。由于二次电子的能量小，揭阳扫描电镜测试，用 E-T探测器检测时，仅需在其前面的栅网上加几百伏的正电位，常施加的电位为+250~+300V，即通过该电位就可把试样上发射出来的大部分二次电子吸引过来，所以二次电子像的阴影效应不明显。在二次电子探测器所对应的立体角内也能接收到相应的一小部分背散射电子，所以在二次电子像中也包含了一小部分背散射电子的信息，如图b中对应的背散射电子成分像的一些衬度信息也能在图a中反映出来，只不过图a中所显现的原子序数的衬度没有像图b中那么明显而已。
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第6年
