






扫描电镜使用是否是经常性的且需求明确的?如果是这样,台式扫描电镜可以就提供所需的信息,为什么要花费更多?关于未来需求超过台式扫描电镜性能的担忧,应该根据潜在需求的确定性和时机,以及对更高要求应用的外部资源可用性来评估。即使未来需求超过台式扫描电镜能力,台式扫描电镜的初始投资也可以继续提供回报,因为该系统可用于补充未来的落地式扫描电镜系统,如筛选样品或继续执行日常分析,落地式扫描电镜应用于要求更高的应用。

这些不同细节的部位发出的二次电子数各不相同,从而产生亮暗不一的衬度。由于二次电子的能量小,用 E-T探测器检测时,仅需在其前面的栅网上加几百伏的正电位,常施加的电位为+250~+300V,即通过该电位就可把试样上发射出来的大部分二次电子吸引过来,所以二次电子像的阴影效应不明显。在二次电子探测器所对应的立体角内也能接收到相应的一小部分背散射电子,所以在二次电子像中也包含了一小部分背散射电子的信息,如图b中对应的背散射电子成分像的一些衬度信息也能在图a中反映出来,天津金属样品电镜测试,只不过图a中所显现的原子序数的衬度没有像图b中那么明显而已。

如果以吸收电子、X射线、阴极荧光、束感生电导或电位等作为调制信号的其他操作方式,由于信号来自整个电子束散射区域,所得扫描像的分辨率都比较低,一般在l000 nm或l0000nm以上不等。扫描电镜的放大倍数可表示为M =Ac/As式中,Ac—荧光屏上图像的边长;As—电子束在样品上的扫描振幅。一般地,Ac 是固定的(通常为100 mm),则可通过改变As 来改变放大倍数。目前,大多数商品扫描电镜放大倍数为20~20,000倍,介于光学显微镜和透射电镜之间,即扫描电镜弥补了光学显微镜和透射电镜放大倍数的空挡。


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