透射电镜测试中心-汕尾透射电镜测试-天津市9d实验室(查看)

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扫描电镜带能谱结合了表面成像功能和元素分析EDS功能，EDS（能谱仪）可以准确的进行样品表面元素的定性和定量分析。台式电镜能谱仪体积小巧，完全嵌入在电镜主机中，采用半导体制冷，透射电镜测试机构，无需额外冷却系统。与光学显微镜类似，扫描电镜也通过透镜来控制电子路径。但因为电子无法穿过玻璃，所以扫描电镜要使用电磁透镜。它们由线圈和金属极片构成。当电流通过线圈，就会产生磁场。由于电子对磁场非常敏感，因此只需调节所施加的电流大小就可以控制镜筒内的电子路径。

台式扫描电镜由电子光学系统、信号收集及显示系统、真空系统及电源系统组成。

　电子光学系统：电子光学系统由电子、电磁透镜、扫描线圈和样品室等部件组成。其作用是用来获得扫描电子束，作为使样品产生各种物理信号的激发源。

　电子：其作用是利用阴极与阳极灯丝间的高压产生高能量的电子束。

　电磁透镜：其作用是把电子的束斑逐渐聚焦缩小，使原来直径约50um的束斑缩小成一个只有数nm的细小束斑。

　扫描线圈：其作用使电子束进入末级透镜强磁场区前就发生偏转。