






在实际工作中以上这几个要点很难个个具备都能达到理想状态,但是作为一个的扫描电镜应用人员来说,茂名电镜测试,应从多方面入手,综合考虑,如选好电镜的安装环境,尽自己的职责维护好设备和制备好试样,这都是操作人员应该做到的事。电镜参数的合理选择和熟练操作,是操作人员经过努力学习、不断积累经验而应能实现的目标。至于扫描电镜的型号和某些参数的优劣,这超出操作人员的能力范围,只要操作人员能发挥出现有电镜大的潜能,一般都能得到比较好的成像效果。当然,如果能有一台高亮度、高分辨的扫描电镜,那将会更理想。

二次电子主要是来自于距试样表面1~10nm之间深度的亚表面(试样表面0~1nm之间深度发出的电子主要为俄歇电子),二次电子能量在0~50eV之间,平均能量约30eV,电镜测试费用,所以这些二次电子能很好地显示出试样表面的微观形貌。由于入射电子仅经过几纳米的路径,还没有被多次反射和明显扩散,因此在入射电子照射的作用区内产生的二次电子区域与入射束的束斑直径差别不大,所以在同一台电镜中二次电子像的分辨能力。二次像的分辨力优于背散射像,背散射像的分辨力优于吸收电流像,吸收电流像的分辨力优于阴极荧光像。目前场发射和钨阴极电镜的二次电子像的分辨力都能分别优于1.0nm和3.0nm。一般情况下,扫描电镜的指标中所提及的图像分辨力,若没有特别说明,都是泛指二次电子像的分辨力。

台式扫描电镜的真空要求和小容量的抽真空使台式扫描电镜抽真空时间短,也比传统落地扫描电镜呈像速度快。台式扫描电镜可直接操作,电镜测试价格,节省了实验操作人员执行分析,准备报告并传达结果所需的时间。除了台式扫描电镜系统响应快之外,分析即时性和用户实时根据观察结果来指导研究工作是具有要当大的潜在价值的。在一些应用中,比如钙钛矿的观察,因为钙钛矿在空气中非常容易氧化,因此如果抽真空的时间过长,样品的表面形貌和成分会发生改变,台式扫描电镜能有效地减小钙钛矿的氧化。


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