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由电子发射的能量为 5 ～ 35keV 的电子，以其交 叉斑作为电子源，三维重构费用，经二级聚光镜及物镜的缩小形成具有一定能量、一定束流强度 和束斑直径的微细电子束，在扫描线圈驱动下，于试样表面按一定时间、空间顺序作栅网式扫描。聚焦电子束与试样相互作用，产生二次电子发射(以及其它物 理信号)，二次电子发射量随试样表面形貌而变化。二次电子信号被探测器收集 转换成电讯号，经视频放大后输入到显像管栅极，德州三维重构，调制与入射电子束同步扫描的 显像管亮度，得到反映试样表面形貌的二次电子像。

在实际工作中以上这几个要点很难个个具备都能达到理想状态，但是作为一个的扫描电镜应用人员来说，三维重构哪家好，应从多方面入手，综合考虑，如选好电镜的安装环境，尽自己的职责维护好设备和制备好试样，这都是操作人员应该做到的事。电镜参数的合理选择和熟练操作，是操作人员经过努力学习、不断积累经验而应能实现的目标。至于扫描电镜的型号和某些参数的优劣，这超出操作人员的能力范围，只要操作人员能发挥出现有电镜大的潜能，一般都能得到比较好的成像效果。当然，三维重构价格，如果能有一台高亮度、高分辨的扫描电镜，那将会更理想。

二次电子是相对于入射电子的一种提法。它是指被高能入射（也称为一次或初次）电子束轰击出来的试样中的核外电子。由于原子核和外层价电子间的结合能很小，当原子的核外电子从入射电子那里获得大于相应的结合能后，就可脱离原子核的约束而成为自由电子。如果这种脱离过程发生在试样表面和亚表面层，那么这些能量大于材料逸出功的电子就可以从试样表面逸出，就成为二次电子。