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台式扫描电镜由电子光学系统、信号收集及显示系统

台式扫描电镜由电子光学系统、信号收集及显示系统、真空系统及电源系统组成。

 电子光学系统:电子光学系统由电子、电磁透镜、扫描线圈和样品室等部件组成。其作用是用来获得扫描电子束,作为使样品产生各种物理信号的激发源。

 电子:其作用是利用阴极与阳极灯丝间的高压产生高能量的电子束。

 电磁透镜:其作用是把电子的束斑逐渐聚焦缩小,使原来直径约50um的束斑缩小成一个只有数nm的细小束斑。

 扫描线圈:其作用使电子束进入末级透镜强磁场区前就发生偏转。

半导体器件(IC)研究中的特殊应用

在半导体器件(IC)研究中的特殊应用:

 1)利用电子束感生电流EBIC进行成像,可以用来进行集成电路中pn结的定位和损伤研究

 2)利用样品电流成像,扫描电镜测试费用,结果可显示电路中金属层的开、短路,因此电阻衬度像经常用来检查金属布线层、多晶连线层、金属到硅的测试图形和薄膜电阻的导电形式。

 3)利用二次电子电位反差像,扫描电镜测试机构,反映了样品表面的电位,从它上面可以看出样品表面各处电位的高低及分布情况,特别是对于器件的隐开路或隐短路部位的确定尤为方便。

 4、利用背散射电子衍射信号对样品物质进行晶体结构(原子在晶体中的排列方式),晶体取向分布分析,基于晶体结构的相鉴定。

台式扫描电镜主机集成高压及控制系统,体积小巧,便于移动,威海扫描电镜测试,可出差携带,安装无需特殊环境,只需找一张桌子,供电就可工作。扫描电镜照片是灰度图像,分为二次电子像和背散射电子像,主要用于表面微观形貌观察或者表面元素分布观察。一般二次电子像主要反映样品表面微观形貌,扫描电镜测试中心,基本和自然光反映的形貌一致,特殊情况需要对比分析。背散射电子像主要反映样品表面元素分布情况,越亮的区域,原子序数越高。

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