






扫描电镜使用是否是经常性的且需求明确的?如果是这样,台式扫描电镜可以就提供所需的信息,为什么要花费更多?关于未来需求超过台式扫描电镜性能的担忧,应该根据潜在需求的确定性和时机,以及对更高要求应用的外部资源可用性来评估。即使未来需求超过台式扫描电镜能力,台式扫描电镜的初始投资也可以继续提供回报,因为该系统可用于补充未来的落地式扫描电镜系统,如筛选样品或继续执行日常分析,落地式扫描电镜应用于要求更高的应用。

扫描电子显微镜的制造是依据电子与物质的相互作用。当一束高能的入射电子轰击物质表面时,被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征x射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子,以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射。同时,也可产生电子-空穴对、晶格振动(声子)、电子振荡(等离子体)。
原则上讲,利用电子和物质的相互作用,可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息,如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等等。扫描电子显微镜正是根据上述不同信息产生的机理,采用不同的信息检测器,使选择检测得以实现。如对二次电子、背散射电子的采集,电镜分析机构,可得到有关物质微观形貌的信息;对X射线的采集,可得到物质化学成分的信息。

灯丝达到工作温度及饱和度所需的加热电流也随灯丝的变细而减小,其寿命也随加热温度的升高而降低。由于钨阴极自身温度升高,使之蒸发加快,阴极丝直径随着蒸发量的加大而变小,中山电镜分析,也随使用时间的增长而变得越来越细,导致阴极丝断开。
虽然提高灯丝的工作温度,即加大加热电流可能还能略微加大发射束流、增加一点亮度,但付出的代价将会是使灯丝寿命明显缩短;反之若适当地减小加热电流,电镜分析费用,则灯丝的工作寿命会相应延长。正常的灯丝加热电流应调在临界饱和状态,从而既可稳定地发射电流,又不至于影响其正常的工作寿命。


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