






背散射电子的空间角度分布与入射电子和试样表面的入射角有关。高角度(>30°)的背散射像适宜于显示原子序数衬度;低角度(
在扫描电镜中检测的试样,其准备工作十分简便。对导电体试样,环境场扫描电镜测试价格,可以不做任何预处理,环境场扫描电镜测试中心,只要其大小形状适合试样室,即可置入仪器试样室检测。对非导电体试样,则在置入试样室前,要在真空镀膜机中对其待测表面喷镀一薄层导电物质,常用的是金或碳。

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扫描电镜是用聚焦电子束在试样表面逐点扫描成像。试样为块状或粉末颗 粒,成像信号可以是二次电子、背散射电子或吸收电子。其中二次电子是主要的成像信号。

影响扫描电镜的分辨本领的主要因素有:
A. 入射电子束束斑直径:为扫描电镜分辨本领的极限。一般,热阴极电子的很小束斑直径可缩小到6nm,场发射电子可使束斑直径小于3nm。
B. 入射电子束在样品中的扩展效应:扩散程度取决于入射束电子能量和样品原子序数的高低。入射束能量越高,样品原子序数越小,深圳环境场扫描电镜测试,则电子束作用体积越大,产生信号的区域随电子束的扩散而变大,从而降低了分辨率。
C. 成像方式及所用的调制信号:当以二次电子为调制信号时,由于其能量低(小于50 eV),平均自由程短(10~100 nm左右),只有在表层50~100 nm的深度范围内的二次电子才能逸出样品表面, 发生散射次数很有限,基本未向侧向扩展,因此,二次电子像分辨率约等于束斑直径。


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