在许多科学领域和制造业中,氦质谱检漏仪已成为控制和监督产品质量的装备。尤其近几年来,电工电子产品的监督检验部门和生产厂家,防水检漏仪,制冷、汽车、航空、航天等行业强化“以质量求生存”的意识,他们在将氦质谱检漏仪用于生产线和科研应用的同时,不断探索其在本行业的应用开发并积累了很多经验。真空法氦质谱检漏:采用真空法检漏时,氢氮检漏仪,需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空,采用氦罩或喷吹的方法在被检产品外表面施氦气,当被检产品表面有漏孔时,氦气就会通过漏孔进入被检产品内部,再进入氦质谱检漏仪,从而实现被检产品泄漏量测量。正压法氦质谱检漏:采用正压法检漏时,需对被检产品内部密封室充入高于一个大气压力的氦气,当被检产品表面有漏孔时,氦气就会通孔漏孔进入被检外表面的周围大气环境中,再采用吸的方式检测被检产品周围大气环境中的氦气浓度增量,从而实现被检产品泄漏测量。

氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术,由于检漏,韶关检漏仪,简便易操作,仪器反应灵敏,精度高,不易受其他气体的干扰,汽车检漏仪,在电阻炉检漏中得到了广泛应用。是根据质谱学原理,用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。背压法氦质谱检漏:采用背压法检漏时,首先将被检产品置于高压的氦气室中,浸泡数小时或数天,如果被检产品表面有漏孔,氦气便通过漏孔压入被检产品内部密封腔中,使内部密封腔中氦分压力上升。然后取出被检产品,将表面的残余氦气吹除后再将被检产品放入与检漏仪相连的真空容器内,被检产品内部密封腔内的氦气会通过漏孔泄漏到真空容器,再进入氦质谱检漏仪,从而实现被检产品总漏率测量。检漏仪给出的漏率值为测量漏率,需要通过换算公式计算出被检产品的等效标准漏率。氦质谱检漏仪同其它检方法相比,除检漏方法不同之外,以它的检测灵敏度高、速度快,可进行定性、定量、的检测特别是选择无破坏性、***,无危险的隋性气体氦为示踪气体,使它成为今天检漏仪器当中的。

质谱室里的灯丝发射出来的电子,在室内来回地振荡,并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子,这些氦离子在加速电场作用下进人磁场。由于洛伦兹力作用产生偏转,形成圆弧形轨道,改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。喷氦法、吸氦法是在电阻炉检漏中常用的两种方法。这就使一束带电粒子在磁场的作用下按荷质比分离,这门研究使不同质量的粒子在电磁场中运动并依质荷比进行分离的学科称为质谱学。根据质谱学原理制成的仪器叫质谱仪。氦质谱检漏仪是质谱仪器中的一种,将质谱仪用于检漏技术是质谱仪在真空密封检测技术中的重要应用。很多情况下,我们需要密封住一定的空间,防止气体或液体在压力作用下,流进或流出这个空间,如真空设备(真空镀膜机,液晶注入机,PVD,半导体外延等等),需要在真空条件下工作,要求在工作时,空气不能漏进工作腔体,否则生产不能进行,或者产生次品,浪费人力物力。另外装液体或气体的容器(液压气瓶,氧气瓶,空调冰箱的雪种容器等等),要求在容器内外存在压差的情况下,不能有气体或液体漏出。如果有漏,后果严重,一般会造成有效物资的浪费,如有毒物资、腐蚀性气体漏出,甚至会酿成事故。这些对密封性有要求的产品或设备,在投入使用前,就要***行检漏,使用过程中也要定期利用氦质谱检漏仪进行检漏检查。


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