7、零件结构设计时,尽量避免采用可能干扰检漏工作的设计方案。例如在真空室內螺钉孔不能采用盲孔形式,因为安装螺钉后螺孔内部剩余空间的气体只能通过螺纹间隙逸出,形成虚漏。从而延长系统抽气时间,干扰检漏正常进行。如图真空检漏中不应出现的结构。8、与此类似,结构设计中不允许存在连续双面焊缝和多层密封圈结构,因为这会在中间形成“寄生积”内的气体会形成虚漏;而当内、外双侧焊缝或密封圈同时泄漏时,“寄生容积”使示漏气体穿越双层焊缝的响应时间过长,无法正常检漏。9、焊接结构设计时,尽量减少总装后无法检漏的焊缝。

氦检漏法氦质谱检漏法是采用氦气作为示漏气体,由于氦气的荷质比小,在检漏过程中不受其它气体的干扰,因此,它是一种反应灵敏,能检出极微小漏孔的选择性检漏方法。它的小可检漏率为10-12Pa。m3。s-1。运用质谱原理制成的仪器称为质谱仪。质谱仪原理是:通过其部件质谱室,使不同质量的气体变成离子并在某种场中运动后,不同荷质比的离子在场中彼此分开,而相同荷质比的离子在场中汇聚在一起,如果在适当位置安置接受器接受所有这些离子,就会得到按照荷质比大小,依次分开排列的质谱图,这就是质谱。

双工位氦检漏系统构成(1)粗抽机组:一般采用旋片泵或者滑阀泵作为粗抽真空使用,获得从一个大气压到千帕级真空,并为后续精抽真空作准备。(2)精抽机组:一般采用罗茨泵作为精抽真空使用,获得检漏要求的真空,一般为5Pa左右。(3)检漏仪:是检漏系统中的部件,检漏仪执行检漏工作时,给出工件泄露量大小,并判断工件是否合格,氦检漏真空箱系统,输出控制信号。(4)耐压测试单元:通过向工件内充注高压气体,一方面测试工件的耐压性能。另一方面通过平衡、保压过程,有传感器感测压力差,并由控制系统经过计算分析判断是否有大漏。(5)工件抽空单元:为保证氦气有循环过程中氦气的纯度,在向工件充注氦气之前,抽出工件内的空气。


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