真空泄漏中的实漏、虚漏、外漏、内漏
大部分真空系统的表现会随时间的推移而变化,特别是用于生产的真空设备,真空箱氦检漏设备公司,几乎不可避免地会发生真空度下降等问题,造成这些问题的一个很常见的原因就是泄漏。
定期的泄漏检测很重要
大的泄漏通常会非常明显:真空腔体压力未按正常速度下降,或者极限压力明显高于正常值。然而,有些时候,由于真空泵可以轻松处理泄漏气体造成的气载,小的泄漏很难被发现,这时,即使真空计的读数仍然在正常的水平,泄漏的出现仍有可能为真空腔体带来期望之外的气体(如氧气),这些气体有时候会对工艺过程(比如某些镀膜工艺)带来非常严重的影响。所以,无论真空系统的压力是否有明显下降,都应该定期进行泄漏检测。

真空系统不严密的主要原因一般是真空系统的泄漏造成的。
真空系统泄漏主要是由于系统内有管道法兰或仪表接口松动,密封垫破损或焊口裂缝造成空气被吸入产生的。而漏入真空系统的空气一般都会通过真空泵抽出,排到大气中。氦质谱检漏仪真空查漏法,正是利用了这一点,在我们怀疑的泄漏点处喷氦气,在另一边,也就是真空泵的排气口处安排人员将氦质谱检漏仪的吸架设好,“守株待兔”。如果该处怀疑的泄漏点真的泄漏,那喷在漏点处的氦气就会被吸入系统,进入凝汽器并被真空泵抽出,真空箱氦检漏设备维修,通过真空泵的出口排出来,架设在真空泵出口的吸就会捕获这些氦气,检漏仪就会识别检测出氦气分子量。
一般来说漏点越大,获的氦气分子量就越多,东莞真空箱氦检漏设备,被检漏仪检测到的氦气分子也越多,这样就能准确锁定漏点的位置和大小。
氦质谱检漏仪真空查漏人员一般都是对系统非常熟悉的人员,真空箱氦检漏设备批发,因此在火电厂组织真空时都优选选择熟悉系统的运行人员。

真空泄漏中的实漏、虚漏、外漏、内漏
实漏和虚漏
并非所有的抽气时间延长、极限压力下降都是因为泄漏,在使用检漏仪检漏前,有必要了解一下如何判断真空设备是否真的发生了泄漏。
真空腔室的内壁或腔室内壁附着的污染物,在真空下持续的释放出气体,这种现象被称为放气。当真空腔室内部存在死空间,并且该死空间通过一个狭长的通道与腔室内部连通时,死空间内的气体在真空下也会缓慢的释放出来,形成类似于放气或泄漏的现象,通常把这种现象叫做虚漏。
真实的泄漏可以通过检漏找到,放气也可以通过清洗真空腔体内表面而解决,而虚漏一旦产生,很难被发现,需要在设计和制造时尽量避免容易产生虚漏的结构或工艺,如上图中的螺纹连接(一定要用的话可以使用空心螺栓),很长的狭缝或毛细管,两侧满焊的腔体焊接(较厚的壳体建议真空侧满焊大气侧断续焊)等等。


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