检漏技术的发展
检漏技术在真空领域占有非常重要的地位,它关系到真空设备的各项真空指标。如何快速地找到漏点,关系到企业的生产效率与经营成本。
检漏技术是一门不断发展、不断完善的技术,多年来,人们创造了很多检漏方法。
上世纪四十年代以前的技术非常简单,比如气泡法、电离计法等。当时,漏率高只能检测到10^-7Pa·m^3/s。
后来,广东真空箱氦检漏设备,经过不断的完善与提高,在1950~1960年代,研制者朝着提高灵敏度的方向努力,使灵敏度一度达到了10^-15Pa·m^3/s。
然而实践证明,单一追求高灵敏度并非合适,这会给检漏仪的生产制造带来一些麻烦。后来,人们将精力主要放在了仪器的稳定性、可靠性、小型化、简单化、检漏过程迅速化上面。
当今常见的氦质谱检漏仪,灵敏度在10^-9~10^-13Pa·m^3/s。较为***的检漏仪压力在几万Pa就可检漏。便携式的检漏仪,真空箱氦检漏设备多少钱,一个人就可以搬运。甚至有些检漏仪已经可以通过手机APP远程控制检测。
这些技术上的进步,使检漏工作的效率和便利性得到很大提升,应用氦质谱检漏仪已经成为检漏技术中的主要方法。

不同真空范围内的抽气时间计算
高真空-超高真空领域的抽气时间计算
这里所指的高真空至超高真空领域,是指真空度在0.2Pa以下,对于高真空领域,要充分考虑容器壁以及容器内物体的气体放出,因此,抽气时间和抽气速度的计算方法和低真空领域不同。
p(t)———到达压强;
Se———实际抽气速度;
Ql———腔体漏气量;
Qg(t)———腔体内部放出气体量;
p0———初期压强。
气体的放出量Qg(t)随着时间t而减少。计算开始时,假定一个抽气时间,根据当时的放气量来求得到达的真空度。如果计算结果p(t)和所需的真空度不一致,则重新假定时间,根据新假设时间的气体放出量再次计算。不断重复,终让p(t)在所需的真空范围内。
高真空领域的抽气时间计算远比低真空领域复杂。真空腔体的内表面经过酒精清洗和150~200℃烘烤处理的两种情况下,后者的气体放出会减少10%左右,因此使用同样的抽气泵所能到达的真空度也会更高一些。
真空腔体内的部件形状和材质也极大地影响到达的真空度和抽气时间。如果使用了树脂类材料,则到达的真空度会比单纯考虑金属表面的气体放出要差2~3个数量级。内部使用螺钉时,螺纹部残留的气体随着抽气时间缓慢放出。为了加速螺纹部的气体放出,要在螺钉中心穿孔,或在螺纹侧面开一个出气孔。因此,内部构造越复杂,影响真空的因素就越多,要获得高真空,设计上就更需要经验。

汽机真空系统检漏方法
氦质谱检漏检漏:链接氦质谱仪器的分析器在凝汽器的真空泵一端,之后拿着氦气喷,喷遍所有的可以漏点,真空箱氦检漏设备哪家靠谱,同时保持和分析仪器端点的人员联系,如果端点接收到氦气,说明喷附近有漏点,再反复查找,争取确定吸空的泄漏点。缺点是,由于氦气易挥发,特别是迅速上漂到一大片面积。难以定为漏点。对于死角难以攀登喷气。类似的方法还有卤素法等。
氦质谱检漏,不适用于空冷岛检漏。空冷岛的露天倾斜结构,使得氦气瞬间挥发掉,特别是遇到有风的天气。


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