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博为光电|精度高(图)-氦质谱真空检漏-合肥真空箱氦检漏系统

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关于真空检漏

大容许漏率

真空系统漏气是的,真空箱氦检漏系统生产厂家,不漏气是相对的在真空检漏技术中所指的“漏”是和大容许漏率的概念联系在一起的。

对于动态真空系统,合肥真空箱氦检漏系统,只要其平衡压力能够达到所要求的真空度,这时即使存在着漏孔,也可以认为该系统的漏率是容许的,该情况下系统的漏率称为大容许漏率。动态真空系统的大容许漏率qLmax应满足

qLmax≤1/10PwS (1)

式中Pw----系统工作压力

S----系统的有效抽速

对于静态真空系统,要求在一定时间内,其压力维持在容许的压力以下,这时即使存在着漏孔,同样叮以认为该系统的漏率是容许的,该情况下系统的漏率称为大容许漏率。如果要求在时间t内,容积为V的系统的压力由p升至pt,则其大容许漏率qLmax应满足

qLmax≤(pt-p)V/t (2)

选择氦气作为示踪气体:用氦气作示踪气体的质谱检漏仪,氦质谱真空检漏,是示踪气体检漏中灵敏度高,使用普遍的一种检漏仪器。

(1)He是一种标准元素,原子质量数为4,真空箱氦检漏系统价格,在质谱室内能与相邻物质很好的分离

(2)空气中He的本底浓度非常低-5ppm,使得本底噪声信号小.

(3)***,非可燃性气体。

(4)惰性气体,不易发生化学反应。

(5)氦气可以存储在各种尺寸的圆筒容器内,并且高纯度能够满足为苛刻的要求。

真空检漏法:被检件和检漏器的敏感元件处于真空状态,在被检件的外部施加示漏物质,如果有漏孔,示漏物质就会通过漏孔进入被检件和敏感元件的空间,由敏感元件检测出示漏物质,从而可以判定漏孔的存在、位置利漏率的大小,这就是真空检漏法。

其它检漏法:被检件既不充压也不抽真空,或其外部受压等方法归入其它检漏法。背压法就是其中主要方法之一。

所谓“背压检漏法”是利用背压室先将示漏气体由漏孔充入被检件,然后在真空状态下使示漏气体再从被检件中漏出.以某种方法(或检漏仪)检测漏出的示漏气体,判定被检件的总漏率的方法。

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