咨询电话：13146848685
北京创世威纳科技有限公司
主营：磁控溅射镀膜机,电子束/热阻蒸发机,ICP,RIE,IBE
咨询电话：13146848685
主营：磁控溅射镀膜机,电子束/热阻蒸发机,ICP,RIE,IBE
您好，欢迎莅临创世威纳，欢迎咨询...
| 女士： |
感应耦合等离子体刻蚀机的结构二
创世威纳——***感应耦合等离子体刻蚀供应商，我们为您带来以下信息。
刻蚀腔体刻蚀腔体是ICP 刻蚀设备的***结构，它对刻蚀速率、刻蚀的垂直度以及粗糙度都有直接的影响。刻蚀腔的主要组成有：上电极、ICP 射频单元、RF 射频单元、下电极系统、控温系统等组成。
以上就是关于感应耦合等离子体刻蚀的相关内容介绍，感应耦合等离子体刻蚀机，如有需求，感应耦合等离子体刻蚀机哪家好，欢迎拨打图片上的热线电话！
感应耦合等离子体刻蚀机的原理
感应耦合等离子体刻蚀法（Inductively Coupled Plasma Etch，简称ICPE）是化学过程和物理过程共同作用的结果。它的基本原理是在真空低气压下，ICP 射频电源产生的射频输出到环形耦合线圈，以一定比例的混合刻蚀气体经耦合辉光放电，产生高密度的等离子体，在下电极的RF 射频作用下，这些等离子体对基片表面进行轰击，感应耦合等离子体刻蚀机工作原理，基片图形区域的半导体材料的化学键被打断，与刻蚀气体生成挥发性物质，以气体形式脱离基片，从真空管路被抽走。
如果需要进行刻蚀，和蚀刻后，除污，清除浮渣，表面处理，等离子体聚合，等离子体灰化，或任何其他的蚀刻应用，我们能够制造客户完全信任的等离子处理系统，以满足客户的需要。我们既有常规的等离子体蚀刻系统，也有反应性离子蚀刻系统，我们可以制造系列的产品，也可以为客户定制特殊的系统。我们可以提供快速/***的蚀刻，减轻等离子伤害，并提供的均匀性。
等离子体处理可应用于所有的基材，感应耦合等离子体刻蚀机生产厂家，甚至复杂的几何构形都可以进行等离子体活化、等离子体清洗，等离子体镀膜也毫无问题。等离子体处理时的热负荷及机械负荷都很低，因此，低压等离子体也能处理敏感性材料。
想要了解更多创世威纳的相关信息，欢迎拨打图片上的热线电话！
等离子刻蚀机
创世威纳——***感应耦合等离子体刻蚀供应商，我们为您带来以下信息。
等离子刻蚀机，又叫等离子蚀刻机、等离子平面刻蚀机、等离子体刻蚀机、等离子表面处理仪、等离子清洗系统等。等离子刻蚀，是干法刻蚀中常见的一种形式，其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体，由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体，从而形成了等离子或离子，电离气体原子通过电场加速时，会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。某种程度来讲，等离子清洗实质上是等离子体刻蚀的一种较轻微的情况。进行干式蚀刻工艺的设备包括反应室、电源、真空部分。工件送入被真空泵抽空的反应室。气体被导入并与等离子体进行交换。等离子体在工件表面发生反应，反应的挥发性副产物被真空泵抽走。等离子体刻蚀工艺实际上便是一种反应性等离子工艺。近期的发展是在反应室的内部安装成搁架形式，这种设计的是富有弹性的，用户可以移去架子来配置合适的等离子体的蚀刻方法：反应性等离子体（RIE），顺流等离子体（downstream），直接等离子体（direction plasma）。
温馨提示：以上是关于北京创世威纳-感应耦合等离子体刻蚀机生产厂家的详细介绍，产品由北京创世威纳科技有限公司为您提供，如果您对北京创世威纳科技有限公司产品信息感兴趣可以联系供应商或者让供应商主动联系您 ，您也可以查看更多与电子/电工产品制造设备相关的产品！
免责声明：以上信息由会员自行提供，内容的真实性、准确性和合法性由发布会员负责，天助网对此不承担任何责任。天助网不涉及用户间因交易而产生的法律关系及法律纠纷， 纠纷由您自行协商解决。
风险提醒：本网站仅作为用户寻找交易对象，就货物和服务的交易进行协商，以及获取各类与贸易相关的服务信息的平台。为避免产生购买风险，建议您在购买相关产品前务必 确认供应商资质及产品质量。过低的价格、夸张的描述、私人银行账户等都有可能是虚假信息，请采购商谨慎对待，谨防欺诈，对于任何付款行为请您慎重抉择！如您遇到欺诈 等不诚信行为，请您立即与天助网联系，如查证属实，天助网会对该企业商铺做注销处理，但天助网不对您因此造成的损失承担责任！
联系：tousu@tz1288.com是处理侵权投诉的专用邮箱，在您的合法权益受到侵害时，欢迎您向该邮箱发送邮件，我们会在3个工作日内给您答复，感谢您对我们的关注与支持！
第7年
