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北京维意真空技术应用有限责任公司
主营：真空腔体加工，真空配件，原子层沉积镀膜设备，真空高低温探针台
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| 价格： | 180000.0000 / |
PECVD系统就是为了使传统的化学气象沉积（CVD）反应温度降低，在普通CVD装置的前端加入RF射频感应装置将反应气体电离，形成等离子体，利用等离子体的活性来促进反应，所以这个系统称为增强型化学气相沉积系统（PECVD）。
该型号PECVD为单温区系列，综合了国内大多数厂家的管式PECVD系统的优点，成膜质量好，不易龟裂。而且控制部分采用了维意自主研发的实验电炉AIO全自动智能控制系统，使得操作更加简便，功能更加强大。
主要特点：
1. AIO控制系统——加热控制、等离子射频控制、气体流量控制、真空系统控
制集中于一个7英寸触摸屏进行统一集中调节和操控，协
调控制；
2. 管内压力自动平衡——管内压力实时监测，自动平衡管内压力。
3. 智能气路通断——每路气体均可定时通断，省时省力；
4. 射频功率和开关定时控制——预先设定好功率的大小和打开与关闭的时间，
自动运行；
5. 炉膛移动速度可调——根据实验要求，用户可设定炉膛左右移动的速度可
距离；
6. 整机结构融为一体——移动方便，避免分散组装的困扰。
温馨提示：以上是关于维意真空PECVD等离子增强化学气象沉积设备支持定制的详细介绍，产品由北京维意真空技术应用有限责任公司为您提供，如果您对北京维意真空技术应用有限责任公司产品信息感兴趣可以联系供应商或者让供应商主动联系您 ，您也可以查看更多与行业专用设备相关的产品！
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第8年
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