什么是蒸发镀膜?
蒸发镀膜常称真空镀膜。
其特点是在真空条件下,材料蒸发并在玻璃表面上凝结成膜,再经高温热处理后,在玻璃表面形成附着力很强的膜层。有70 多种元素、50 多种无机化合物材料和多种合金材料可供选择。PVD工艺的首要条件是在真空条件下操作,因为***以上的残余气体会影响膜的成分和性质。为了实现镀膜工艺,要求残余气体的压力为0.1~1Pa。
ZF350有机无机联合制备:采用3~4组蒸发源可兼容金属、有机物蒸发。广泛应用于高校材料、物理、化学、电子、能源等相关学科以及科研院所制备高质量功能薄膜、蒸镀电极等,全自动钙钛矿蒸发镀膜机厂家,特别适合OPV/钙钛矿/无机薄膜太阳能电池、半导体、有机EL、OLED显示研究与开发领域。
技术要求:
1、镀膜室:镀膜腔室尺寸约为Φ350×450mm,不锈钢材料,圆柱形前开门结构,全自动钙钛矿蒸发镀膜机生产厂家,内带有防污板。
2、抽气系统:采用分子泵+机械泵抽气系统;
2.1、真空度:镀膜室的极限真空≤6×10-4Pa;
2.2、系统漏率≤1×10-7PaL/s。
3、蒸发源系统:有机源蒸发源一个,容积5ml,一台蒸发电源,可测温控温,加热温度400℃,功率0.5Kw;
4、样品架系统:样品架可放置大小为Φ100mm的样品,载玻片;旋转速度为:0~30转/分;
5、样品在镀膜过程中,带有烘烤加热功能,烘烤加热温度为:室温~400℃,测温控温。
6、设备带有断水断电连锁保护报警装置、防误操作保护报警装置。
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ZF500有机蒸发镀膜机
广泛应用于高校材料、物理、化学、电子、能源等相关学科以及科研院所制备高质量功能薄膜、蒸镀电极等,半导体、有机EL、OLED显示研究与开发领域。
系统组成:
主要由真空室、蒸发源、样品台、 真空抽气及测量、膜厚测试 、电控系统组成。
技术指标:
极限真空度4×10-5Pa,系统漏率:1.2×10-7PaL/S; 恢复真空时间:40分钟可达6.0×10 Pa-4
真空室:D形真空室,尺寸350× 400mm
样品台:尺寸为4英寸4平面样品;
有机束源炉:数量:4支,标准型600度控温;
样品架:安装加热炉。基片的温度从室温至600℃(硅片上表面的温度,只需标定一次即可)
4套挡板系统:动密封手动控制;
样品挡板(1套),全自动钙钛矿蒸发镀膜机,磁力拨叉,
膜厚控制仪:膜厚测量范围0-999999?
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电阻热蒸发镀膜——“蒸发技术”介绍
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蒸发技术分为间歇蒸发与连续蒸发、直接电阻加热蒸发和间接电阻加热蒸发,连续生产与制造厚膜时采用连续蒸发加热。一个入射的蒸气原子在表面的滞留时间中,原子不断地扩散形成不均匀的成核作用,随着蒸气原子不断地冲击表面,各个核都在增长,相邻各核开始接触进入聚结阶段,直到形成连续膜。也可把上述过程划分为小岛阶段、网络阶段、孔阶段及连续膜阶段。
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