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真空泵工作原理

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真空泵的工作原理   一、2X型旋片式真空泵简称旋片泵工作压强范围为101325~1.33×10-2Pa属于低真空泵。它可以单独使用也可以作为其它高真空泵或超高真空泵的前级泵。它已广泛地应用于冶金、机械、电子、化工、轻工、石油等生产和科研部门。  旋片泵可以抽除密封容器中的干燥气体若附有气镇装置还可以抽除一定量的可凝性气体。但它不适于抽除含氧过高的对金属有腐蚀性的、对泵油会起化学反应以及含有颗粒尘埃的气体。  旋片泵是真空技术中***基本的真空获得设备之一。旋片泵多为中小型泵。旋片泵有单级和双级两种。所谓双级就是在结构上将两个单级泵串联起来。一般多做成双级的以获得较高的真空度。  旋片泵的抽速与入口压强的关系规定如下在入口压强为1333Pa、1.33Pa和1.33×10-1Pa下其抽速值分别不得低于泵的名义抽速的95%、50%和20%。

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利用泵腔容积的周期性变化来完成吸气和排气过程的一种真空泵，气体在排出前被压缩。这种泵分为往复式及旋片式两种：（1） 往复式真空泵：是利用泵腔内活塞做往复式运动，将气体吸入、压缩并排出。因此，又称为活塞式真空泵。（2） 旋片式真空泵：是利用泵腔内活塞做旋转运动，将气体吸入、压缩并排出。

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干泵国外干泵市场的不断增长，其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。在日本，氦检漏设备，半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵，欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵，大大提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用领域和不同工况的要求，国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。极限压力从10Pa～10-2Pa，抽速从20m3/h～500m3/h。

水环泵水环真空泵（简称水环泵）是一种粗真空泵，它所能获得的极限真空为2000~4000Pa，氦检漏设备厂家，串联大气喷射器可达270~670Pa。水环泵也可用作压缩机，称为水环式压缩机，是属于低压的压缩机，其压力范围为1~2×105Pa表压力。水环泵***用作自吸水泵，而后逐渐用于石油、化工、机械、矿山、轻工、医yao及食品等许多工业部门。在工业生产的许多工艺过程中，如真空过滤、真空引水、真空送料、真空蒸发、真空浓缩、真空回潮和真空脱气等，水环泵得到广泛的应用。由于真空应用技术的飞跃发展，水环泵在粗真空获得方面一直被人们所重视。由于水环泵中气体压缩是等温的，故可抽除***、***的气体，此外还可抽除含尘、含水的气体，因此，水环泵应用日益增多。如图：在泵体中装有适量的水作为工作液。当叶轮按图中顺时针方向旋转时，水环的上部内表面刚好与叶片顶端接触（实际上叶片在水环内有一定的插入 深度）。此时叶轮轮毂与水环之间形成一个月牙形空间，而这一空间又被叶轮分成和叶片数目相等的若干个小腔。如果以叶轮的下部0°为起点，那么叶轮在旋转前180°时小腔的容积由小变大，且与端面上的吸气口相通，此时气体被吸入，当吸气终了时小腔则与吸气口隔绝；当叶轮继续旋转时，小腔由大变小，使气体被压缩；当小腔与排气口相通时，气体便被排出泵外。

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