净化工程的主要组成部分有六个部分:地面系统,风道系统,自动控制系统,电气系统,给排水系统和空气过滤系统。自动控制系统:包括温度控制,空气净化工程,温度控制,风量风压控制,开启顺序和时间控制;电气系统:照明,电力和弱电,包括净化灯,插座,电气柜,合肥净化工程,线路,监控,电话等强弱系统;给排水系统:供水,净化工程哪家好,排水管道,设施和控制装置;地面系统:环氧树脂通常用于清洁地面。
然后调整其它所有风口风量。因为调整任何一个风口风量时,都会影响已调整过的风口的风量的变化;因此,在调整任何一个风口风量时,都要以标准风口当时风量为参照风量,使所有被调风口的风量均随标准风口的风量变化而同步变化。
当一个净化空调系统负责多个洁净室空调时,调试要以洁净室为单位由末端向总干管方向进行,对各洁净室首先调整其送风量的相对关系量,然后,再用系统的总阀门来将每个送风口,每个洁净室的送风量都调整为真实的设计送风量。
洁净室中的温湿度控制
洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到 人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。
具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。
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