烘烤为完成超高真空规模 (<10-8 hPa) 内的压力,有必要满意以下条件:
真空泵的极限真空度应该低于所需极限压力的10 倍。
真空室和部件所运用的材料有必要针对出气量进行优化,冻干机真空系统维修,而且具有恰当的外表处理等级。
应该运用金属密封件(例如,CF法兰衔接或 ISO 法兰规范的 Helicoflex 密封件)。
清洁作业是超高真空一切必要,即:一切部件有必要在装置前完全清洁并有必要佩戴无油脂手套进行装置。
设备和高真空泵有必要进行烘烤。
在发动加热器之前,集成真空系统维修,有必要避免并扫除走漏。为此,有必要运用氦气检漏仪或四极杆质谱仪。
烘烤显著添加解吸率和分散率,而且这会导致抽吸时刻大大缩短。作为制造工艺的***终一个过程,UHV 用处的腔室可在温度高达 900 °C 时进行退化。后续烘烤温 可能到达300 °C。泵制造商有关高真空泵法兰高烘烤温度的阐明一般将作业中的高温度限制为 120 °C。如果在真空设备中运用热源(例如,辐射加热),则不得超越答应的辐射功率。
设备在装置结束后投入运转。在到达 10-5 hPa 的压力后,敞开加热器。在加热过程中,以 10 小时的距离对真空计进行操作并脱气。如果运用具有恰当外表处理等级的不锈钢容器和金属密封件,120°C 的烘烤温度和约 48 小时的加热时刻足以到达 10- 10 hPa 的压力规模。
烘烤应该继续,直至到达预期极限压力的 100 倍。然后封闭泵和真空室的加热器。在冷却后,很可能会完成所需的极限压力。在压力低于 5 · 10-10 hPa 且内外表积较大时,将有利于运用气体结合泵(钛提高泵),该泵以高体积流量抽出从金属中逸出的氢气。
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在“真空”中,木工真空系统维修,声音因为没有介质而无法传递,但电磁波的传递却不受真空的影响。事实上,在真空技术里,真空系针对大气而言,一特定空间内部之部份物质被排出,使其压力小于一个标准大气压,则我们通称此空间为真空或真空状态。真空常用帕斯卡(Pascal)或托尔(Torr)做为压力的单位。在自然环境里,只有外太空堪称***接近真空的空间。1641年意大利数学家托里切利在一根长管子内加满银,然后很缓慢的把管口倒转在一个盛满银的盆内,管子内银柱的末端是 76 厘米高。这时玻璃管***上方无银地带是真空状态。这一实验为“托里拆利实验”,完成实验的玻璃管为“托里拆利管”。1654年马德堡市长奥托·冯·格里克在雷根斯堡向皇帝展示了他所设计的半球实验。他制造了两个直径51厘米的红色铜制半球,半球中间有一层浸满了油的皮革,真空系统维修,用以让两个半球能完全密合。接着他用他自制的真空泵把球内的空气抽掉,此时两个沉重的铜制半球在没有任何接着剂的辅助下紧密地合而为一,让人十分惊讶。但格里克实验的高潮才正要开始,他为了证明两半球的结合是多么紧密、扎实。市长拉来了16匹马,分成两队使劲拉,在一声巨响中,两个半球被拉开了。这就是物理学史的“马德堡半球实验(Magdeburg hemispheres test)”
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