对于机械真空泵如旋片式真空泵应安装在清洁、干净的环境里,温度宜在15至40度范围之内。在真空泵的进气口处应安装精密过滤器,消除油蒸汽不使它污染整个系统。每次启动真空泵前,应用手转动或断续启动几次,将旋片真空泵内油排出真空泵外,减少启动时的阻力。真空泵使用油,一般3~6个月更换一次,以免增加真空泵维修保养起来的难度。真空泵抽除含有可凝性蒸汽时精密过滤器。用带放气电磁阅是较好的措施,可保证停泵时即对真空泵放大气。
结构和功能
SOGEVAC SV 200 和 SV300是单级油封式旋片泵。泵本身带有防返油阀、气镇阀(选用件)、出口过滤器、回油线路和油冷却回路。泵由直联法兰电机驱动。
注:气镇阀在USA销售的泵中是标准件。
安装在泵缸体(7/83)中的偏心转子(7/88)有三块叶片,它们把泵腔分成几个隔室。每个隔室的容积随转子旋转周期性改变。
当转子旋转时,抽空腔的进气部分容积扩张,将气体通过吸入口吸入。气体经过污物防护罩,打开的防返油阀(7/54)进入泵腔。当转子进一步旋转,叶片从吸入口将泵腔部分分开。这部分泵腔体积减少,气体被压缩。气体在略高于大气压力时经过排气阀(6/20)从泵腔中排出。
油被注入泵腔起密封,润滑和冷却泵的作用。
压缩气体夹带的油在油箱(6/27)内由于折转而被初步捕集。然后在出口过滤器元件(6/29)中被***过滤。于是,排气中油含量下降至低于可见程度(捕集率大于99%)。
在出口过滤器中捕集的油经过回油管(6/11)返回到进气室。为了防止大气压下的气体从油槽流入进口,回油管由一个浮球阀控制。
油循环是由油箱(压力高于或等于大气压)和泵的进气口(压力低于大气压)之间存在的压差维持的。一部分油取自油槽(6/27),经过油过滤器(6/25)流到转子的轴承支撑点和泵腔。注入泵内油的另一部分不会通过油过滤器。所以,如果油过滤器偶然完全堵塞,通过具有足够油量的第二线路确保润滑,从而保证泵良好机械运转。
然而在这种情况下,莱宝真空泵排气阀,泵达不到规定的极限压力。一般来说这表明油脏了或油过滤器被堵塞了。
在电机轴上旋转的风扇产生冷却所必须的空气流,来通过冷却盘管中的润滑。
根据需求,可订购带气镇装置(6/14)的泵(USA型号的泵气镇阀为标准配置)。
打开气镇阀,让被称作“气镇”的可控制的一定数量的空气进入泵腔。当抽空可冷凝气体或蒸汽时,这气镇可防止可冷凝气体在泵内的冷凝(大容许水蒸汽压力见技术参数)。
有不同种类的气镇:
- 标准气镇
- 较大气镇(10%)
- 带电磁阀的气镇
见 2.5.2
供货时不带气镇阀的泵,也可加装气镇阀。(参阅***.5节和第2.8节)
用防返油阀(7/54)防止真空腔的意外破空和返油。
真空泵为什么有噪音,有以下几种可能,首先排除电机是否有异音,莱宝真空泵滤芯,如果电机生音正常,电机主要是轴承损坏将有异音,更换轴承及排除,缸体是否有磨损状况,如果缸体磨损声音肯定会变大,解决方案,那就是搪缸,搪缸对泵浦本身影响很大的,会影响泵浦真空度及抽速,所以搪缸的尺寸及精度要求非常高,还有一级转子与二级转子连接处有个联轴器是否有磨损,如果磨损声音会变大,真空泵维修处理方案,就是更换,如果更换基本就可以排除声音过大,泵浦轴承是否有更换,这个是直接影响声音的根本原因,所以更换及可以解决噪音大之故障,一级转子与二级转子连接销钉是否有磨损状况,如果磨损也会导致噪音变大,处理方案就是换新,泵浦间隙是否符合标准,如果间隙过大或者过小也会导致噪音变大,莱宝真空泵,所以间隙必须符合泵浦使用状况,排气端是否有消音装置,如果没有也会直接导致声音变大,莱宝真空泵维修包,处理方案就是更换及可以安装及可排除。 真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对ya有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空。有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。
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