氦气检漏仪作为精密泄漏检测的关键设备，在半导体制造、真空设备维护及航天密封测试等领域发挥着的作用。然而，传统氦检仪常面临灵敏度不足、检测效率低、自动化程度不高等问题，难以满足现代工业对质量控制的严苛要求。通过系统化升级改造，可显著提升设备性能并延长使用寿命。
广州潽拓光电科技有限公司主要从事机电自动化，光电存储媒体，半导体，，太阳能电池板等真空镀膜设备维修，销售，设计，开发及系统工程，软件开发，承接等，是leybold、Pfeiffer、Alcatel 、Agilent(Varian)、BOC Edwards、Shimadzu、ULVAC、Osaka等品牌分子泵维修厂商。
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楼主请问：Edwards真空分子泵有哪些性能？
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