高真空分子泵维护保养

高真空分子泵维护保养的要点：

日常维护

1.运行监控

-定期检查泵体温度、振动及噪音，异常时立即停机排查。

-监控电源和控制器状态，确保电压稳定，避免过载。

2.清洁与防护

-保持泵体表面清洁，定期用无尘布擦拭，防止粉尘堆积。

-停机时关闭真空阀，防止大气中的颗粒或液体倒灌污染泵腔。

3.润滑系统

-油润滑泵：每3个月检查油位和油质，油色浑浊或杂质多时需更换润滑油。

-脂润滑泵：按厂家建议周期（通常1-2年）补充或更换高速轴承润滑脂。

定期保养

1.轴承维护

-轴承寿命约2-5万小时，需定期检测磨损（如振动分析），到期强制更换。

-更换轴承需操作，避免安装偏差导致转子失衡。

2.内部清洁

-每1-2年拆洗泵腔和叶轮，使用无残留溶剂（如异）清除油污或颗粒物。

-严禁使用金属工具刮擦，避免损伤精密叶片。

3.系统匹配检查

-确保前级泵抽速与分子泵匹配，定期维护前级泵（如油雾过滤器清洁）。

-检查真空管路密封性，避免漏气导致分子泵过载。