

分子泵是一种利用高速旋转的涡轮叶片(转子)将气体分子“击打”向特定方向(通常是向下游排气口)来实现抽真空的泵。它通常需要与前级泵(如旋片泵或干泵)串联使用,共同将系统压力从低真空抽至高真空甚至超高真空范围(通常<10^-3Pa至<10^-7Pa)。
价格范围概览(全新泵)
*小型分子泵(抽速<100L/s):入门级或小型系统用。国产泵价格可能在3万-8万元左右。进口品牌通常在8万-20万元甚至更高。
*中型分子泵(抽速100-500L/s):应用广泛的类型。国产泵价格范围大致在8万-25万元。进口品牌主流型号通常在20万-50万元区间。
*大型分子泵(抽速>500L/s):用于大型真空腔体或要求极高抽速的应用。国产泵可能在25万-60万元以上。进口品牌则很容易达到50万-150万元甚至更高,特别是带磁悬浮轴承的大抽速型号。
*特殊/泵:如超高真空泵、耐腐蚀泵、无磁泵等,价格会显著高于同抽速的普通泵。
总结与建议
高真空分子泵的价格区间非常宽泛,从几万元到上百万元不等。选择时务必明确自身应用需求(抽速、极限真空、洁净度、可靠性、特殊环境)和预算。
*明确需求:根据腔体体积、工艺气体量、目标真空度、洁净度要求等确定所需抽速和性能。
*多方询价:向不同品牌(包括国内外)的代理商或厂家咨询具体型号的报价。
*考虑总拥有成本:除了购买价格,还要考虑维护成本(如轴承更换)、能耗、备件价格和保修政策。
*国产vs进口:国产泵,在满足需求的前提下是很好的选择;进口泵在技术、可靠性和服务支持上仍有优势。
终选择需要在性能、可靠性、预算和服务之间找到平衡点。
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