复合分子泵技术支持

复合分子泵是一种结合了涡轮分子泵和牵引分子泵（或分子拖动泵）工作原理的真空泵。其设计在于泵体内包含高速旋转的多级涡轮叶片组以及螺旋沟槽或盘片结构。

工作原理：

高速旋转的涡轮叶片通过撞击气体分子，将其从进气口推向排气口，主要作用于高真空和中真空区域（分子流态）。后级的牵引结构（如沟槽或盘片）则利用气体分子与高速旋转表面的粘滞效应，将分子“拖曳”至排气口，特别适用于前级压力较高（粘滞流态）的情况。这种协同作用实现了宽压力范围内的抽气。

主要技术优势：

1.超限真空与洁净真空：可达到极高的极限真空（通常优于1×10⁻⁹mbar），且泵腔无油污染，提供极其洁净的真空环境，对半导体制造、表面分析等至关重要。

2.宽广的工作压力范围：从大气压附近启动，直至超高真空区域都能有效工作，减少了配置额外前级泵的需求。

3.高压缩比：对轻质气体（如氢气、氦气）具有出色的压缩能力，解决了传统扩散泵的抽气盲区问题。

4.结构紧凑，启动迅速：相比纯涡轮泵，对前级真空度要求略低，启动更快。现代设计使其体积更小，易于集成。

5.低维护成本：无油设计显著降低了维护成本和污染风险。

典型应用：

复合分子泵是现代超高真空和极高真空系统的动力源，广泛应用于半导体集成电路制造、平板显示镀膜、表面科学分析（如XPS,AES）、粒子、同步辐射光源、空间环境模拟装置、真空冶金与材料研究等领域，是支撑前沿科技与制造的关键基础设备。