潽拓光电：真空泵真空度

真空泵的性能指标就是其所能达到和维持的真空度。它本质上是指泵入口处气体稀薄的程度，即气体压力低于标准大气压（101325Pa）的程度。真空度越高，意味着泵出口处的气体压力越低，气体分子越稀少。

1.定义与表示：

*真空度通常用压力来表示，单位是帕斯卡（Pa）、毫巴（mbar）或托（Torr）。1mbar≈100Pa,1Torr≈133.3Pa。

*有时也用“相对压力”（相对于大气压）表示，单位是负的毫巴（-mbar）或负的巴（-bar），但压力是更科学和通用的表述。

*数值越小，真空度越高。例如，1Pa的真空度远高于1000Pa（即10mbar）。

2.极限真空度：

*这是真空泵在入口完全封闭、无气体负荷（即没有气体从被抽容器流入）的理想状态下，所能达到的压力。它代表了泵自身能力的理论极限，主要由泵的设计、内部泄漏、材料放气等因素决定。

3.不同的应用对真空度的要求差异巨大：

*粗真空(10^5-10^3Pa)：物料搬运、真空包装、简单脱气。

*低真空(10^3-10^{-1}Pa)：真空干燥、真空浸渍、普通炉子。

*中真空(10^{-1}-10^{-4}Pa)：真空冶金、冷冻干燥、真空镀膜（部分）。

*高真空(10^{-4}-10^{-7}Pa)：电子束焊接、真空镀膜（PVD,CVD）、粒子、空间模拟。

*超高真空(<10^{-7}Pa)：表面科学、粒子物理、半导体工艺。