潽拓光电：真空泵调试

真空泵作为各类工艺系统的动力源，其调试质量直接关系到系统能否稳定、运行。一次严谨规范的调试过程，是保障设备长期可靠性的基石。

调试前准备：安全与基础的保障

*安全为先：仔细阅读设备手册，明确所有安全警示与操作要求。确保所有防护罩安装到位，电气接线正确牢固并可靠接地。工作区域必须整洁、通风良好。

*基础检查：确认泵体安装稳固，无应力扭曲。检查油位（油封泵）或润滑点（干泵），确保处于规定范围。连接冷却水（如需）并测试流量、压力正常。检查所有管路连接紧密无泄漏，进、出口阀门状态正确（通常入口开，出口关）。

*介质确认：明确被抽气体成分，确保与泵的材质、密封及工作液兼容，避免腐蚀或危险反应。

调试步骤：循序渐进，细致观察

1.点动测试：瞬时启动电机，观察泵的旋转方向是否正确（通常有箭头标识）。方向错误立即停机调整电源相序。

2.启动运行：确认方向正确后，正式启动泵。密切监控启动电流、运行电流是否在额定范围内。倾听运行声音，应平稳无异常摩擦、撞击噪音。检查泵体振动情况，应在可接受范围内。

3.抽气过程：缓慢打开入口阀门（若之前关闭）。观察真空计读数，真空度应平稳上升。记录达到目标真空度所需的时间，作为后续性能对比基准。过程中持续监测运行噪音、振动、温升（轴承、电机、泵体）及油温（油封泵）是否正常。

4.极限真空测试：在入口阀门完全打开且系统无大泄漏的情况下，让泵持续运行足够长时间（通常30分钟以上），直至真空度稳定不再上升，记录此时的极限真空度，并与设备标称值或设计要求对比。

5.停泵测试：关闭入口阀门，然后停泵。观察真空计，记录系统压力回升速度（泄漏率）。快速回升通常表明系统或泵本身存在较大泄漏。

性能验证与验收

*关键指标：确认极限真空度、抽气时间、运行电流、振动、噪音、温升等关键参数均符合设备技术规格及项目设计要求。

*稳定运行：在目标工况下（如特定入口压力）连续运行规定时间（如4-8小时），各项参数应保持稳定，无异常波动。

*泄漏检查：使用检漏仪（如氦质谱检漏仪）或肥皂水仔细检查所有管路连接法兰、阀门、轴封等关键部位，确保密封良好。

重要安全警示

*严禁无油/无液运行：油封泵禁止在无油状态下启动或运行，干泵需确保润滑到位。

*避免入口堵塞：防止异物或大量液体突然进入泵腔。

*高温部件：运行中及刚停机时，泵体、排气口、油等部位温度可能极高，严防。

*有害气体：处理有毒、可燃、腐蚀性气体时，必须严格遵守相关安全规程，配备防护措施并确保尾气安全排放。

规范细致的调试，是真空泵、长寿命运行的坚实起点。严格遵循规程，关注每一个细节，方能确保设备地服务于生产与科研。