磁悬浮分子泵抽速

在超高真空（UHV）和极高真空（XHV）领域，磁悬浮分子泵凭借其无油污染、高转速、长寿命等优势，成为现代精密制造与科研的关键设备。其性能指标——抽速（PumpingSpeed），直接决定了真空系统的抽气效率与极限真空水平。

抽速的本质与范围

抽速（S）定义为泵在入口处单位时间内能抽除的气体体积，单位为升/秒（L/s）。对于磁悬浮分子泵：

*典型范围：标称抽速通常在10L/s到2000L/s之间，覆盖了从中小型实验室设备到大型工业系统的广泛需求。

*影响：抽速越大，意味着泵在单位时间内能处理更多气体，系统达到目标真空度所需时间越短，尤其对大型腔室或高气载应用至关重要。

实际抽速的关键影响因素

标称抽速（通常针对氮气N₂在特定入口压力下测得）仅为参考值，实际应用中需关注：

1.气体种类：分子泵对轻质气体（如氢气H₂、氦气He）抽速显著低于氮气（N₂）。选购时需明确主要抽除气体类型。

2.入口压力：抽速在分子流态（通常<10⁻²mbar）下达到峰值，压力过高或过低（接近极限真空）时抽速均会下降。

3.前级泵匹配：分子泵依赖前级泵（如干泵）维持其工作压力范围。前级泵抽速不足会限制分子泵性能发挥。

4.管道流导：连接泵与真空腔室的管道、阀门会产生流阻（流导C），实际有效抽速（Seff）远低于泵标称抽速（S），遵循公式：1/Seff≈1/S+1/C。大口径、短管路是优化系统抽速的关键。

5.系统密封性：真空泄漏会引入额外气体负载，消耗泵的有效抽速，劣化极限真空。