涡轮分子泵真空度
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  • 真空度通常以帕斯卡(Pa)或托(Torr)表示。涡轮分子泵的使命,是将气体分子从被抽容器中移除,从而将压力降至高真空(HV,10^{-3}Pa~10^{-7}Pa)乃至超高真空(UHV,<10^{-7}Pa)范围。这个“低气压”水平,是半导体镀膜、粒子、表面科学分析等领域不可或缺的基础。

    涡轮分子泵的真空度是其能力的量化体现。它通过高速旋转叶片对气体分子进行的动量传递和分级压缩,是实现高真空和超高真空的主力军。理解其工作原理及影响极限真空度的因素(气体负荷、密封、抽速、前级泵、清洁度),对于设计、操作和优化真空系统至关重要,是科技领域的关键钥匙。

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