涡轮分子泵返油处理
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  • 涡轮分子泵(TMP)作为高真空设备,其“返油”现象(润滑油反扩散至真空腔)会严重污染工艺、降低良率。

    涡轮分子泵返油需快速响应,通过诊断(油位、油质、轴承、密封、系统)、清洁(泵体、油箱、腔室)和更换关键耗材(油、密封件、轴承)来污染源。长远来看,坚持预防性维护、使用耗材、加装挡板/冷阱以及规范操作是保障洁净真空环境的。对极高洁净度要求,磁悬浮泵是更优选择。

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