涡轮分子泵（TMP）作为高真空设备，其“返油”现象（润滑油反扩散至真空腔）会严重污染工艺、降低良率。
涡轮分子泵返油需快速响应，通过诊断（油位、油质、轴承、密封、系统）、清洁（泵体、油箱、腔室）和更换关键耗材（油、密封件、轴承）来污染源。长远来看，坚持预防性维护、使用耗材、加装挡板/冷阱以及规范操作是保障洁净真空环境的。对极高洁净度要求，磁悬浮泵是更优选择。
ulvac真空泵维修保养维修
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