涡轮分子泵负载太大
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  • 涡轮分子泵负载过大主要源于过高的气体负荷(前级真空不足、大漏气、工艺放气)或内部机械故障(轴承损坏、摩擦、异物)。应首先快速排查前级压力和系统泄漏/工艺放气情况。若排除气体负荷问题,则极可能是泵内部机械故障,需检修。忽视此问题会严重损害设备。

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