涡轮分子泵负载过大主要源于过高的气体负荷（前级真空不足、大漏气、工艺放气）或内部机械故障（轴承损坏、摩擦、异物）。应首先快速排查前级压力和系统泄漏/工艺放气情况。若排除气体负荷问题，则极可能是泵内部机械故障，需检修。忽视此问题会严重损害设备。
Edwards二手分子泵的故障怎么解决？ 急！急！急！
Edwards二手分子泵为何会发生半边热，半边冷的现象？ 原因：附近有光照或其他热源 解决方法：避免光照或热源 全文
麻烦请教各位！爱德华分子泵控制器的故障怎么解决？ 想知道
爱德华分子泵控制器轴承为什么会烧毁 原因：①缺乏定期维护②冷却不良导致过热③没有及时换油④抽除的气体中含有大量粉尘 解决方法：①及时维护②检查冷却系③及时换油④隔离粉尘 全文
谁能回答！爱德华分子泵怎样维修？求解答
真空度很好的情况下，爱德华分子泵油为何会返到前级管道？ 原因：油池裂开或密封不良 解决方法：检查油池 全文
敢问大家，涡轮分子泵维修有哪些特点？ 还请不吝赐
涡轮分子泵损坏的原因可分为设计上的和使用上的两方面的原因造成的。在设计上，有材料方面的问题。如材质的选择、毛坯的管理(如转子主轴加工后要垂直放置防弯变形)材料缺陷的检查等；在使用上存在的问题也不少，在.. 全文
