分子泵负载过大(过载)是一个严重问题,会导致泵体过热、异常噪音、振动加剧,终可能损坏昂贵的分子泵转子轴承或电机。
分子泵负载过大是系统发出的危险信号。前级真空不足和轴承润滑失效是常见诱因。必须立即停机,遵循从系统(前级真空、泄漏、工艺气体)到泵本体(润滑、冷却、机械转动)再到电气控制(驱动器、电机)的排查顺序,由简入繁。忽视此问题将导致分子泵部件(转子、轴承)的灾难性损坏,造成高昂的维修费用和停机损失。安全操作和及时维护是预防的关键。
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