潽拓光电：涡轮分子泵保养

涡轮分子泵作为高真空系统的动力，其稳定运行直接关乎实验精度与设备寿命。科学保养是关键，主要涵盖以下层面：

一、日常操作规范(基础防线)

*洁净启停：启动前确保腔体清洁干燥，避免颗粒物或腐蚀性气体进入；停机时遵循“先关高真空阀，后停泵”原则，防止泵油倒吸污染。

*平稳运行：运行中监控振动与噪音，异常波动往往是轴承磨损或动平衡失效的信号，需立即排查。

*冷却保障：确保水冷系统畅通，水温流量达标（参照手册），过热会加速润滑油老化及部件变形。

二、周期性维护(主动防御)

*油雾过滤器：每3-6个月检查/更换，失效会导致油蒸气反流污染腔体，影响真空度。

*润滑油监测：每运行2000-4000小时或按厂家建议更换润滑油。旧油氧化会产生酸性物质腐蚀轴承。换油时排空旧油并清洗油箱。

*轴承状态：运行声音，异常高频噪音或振动加剧提示轴承磨损（尤其磁悬浮轴承需检测）。定期检查轴承温度。

*密封与连接：检查O型圈、法兰密封面是否老化龟裂，真空脂是否均匀无杂质，及时更换失效密封件。

三、深度保养与服务

*内部清洁：每1-2年或污染严重时，由人员拆卸清洗泵体内部，清除沉积物（尤其涡轮叶片间），恢复抽速。

*轴承更换：机械轴承寿命通常1-3万小时，到期或异常时需由原厂或授权机构更换，确保动平衡精度。

*电路检测：定期检查电源、控制器接线及散热，避免电气故障导致停转。

安全提示：

*维护前务必断电，待泵体完全冷却！

*高速转子具有惯性，勿强行制动！

*严格使用厂家耗材（油品、密封件）。

存放要点：长期停用需排空润滑油，充入干燥氮气密封进出口，存放于干燥无尘环境。

遵循手册，定期维保，您的涡轮分子泵将持久提供纯净、稳定的高真空环境，为科研与生产保驾护航。