涡轮分子泵关机维修方法

涡轮分子泵关机维修方法涡轮分子泵是精密真空设备，维修需严格遵循操作规范，确保安全性和设备完整性。以下是标准维修流程及注意事项：一、关机前准备1. 关闭真空系统电源，确认泵体完全停止运转（转速降至0）。2. 待泵体自然冷却至室温（约需2-4小时），避免高温拆卸导致部件变形。3. 向泵腔通入干燥氮气至常压，防止空气湿气污染内部组件。二、拆卸流程1. 使用工具拆除泵体与真空腔连接法兰，注意保护密封面。2. 按手册顺序拆卸转子组件：先解除电机联轴器锁定，再分层取下动叶片组。3. 分离轴承组件时需标记定位方向，避免重装错位。三、关键检查项目1. 转子系统：用千分尺检测叶片端面磨损（允许值＜0.05mm），检查动平衡标记是否完整。2. 轴承组：测量轴向/径向游隙（标准值0.02-0.03mm），观察润滑脂是否变质。3. 密封件：检查O型圈弹性及法兰密封面平整度（平面度≤0.01mm）。四、维修要点1. 叶片清洁使用无纺布蘸取分析纯级异，禁止使用金属刷。2. 更换轴承时需采用热装法（加热至80-100℃），确盈配合精度。3. 重新组装后需进行48小时低速磨合（额定转速的30%）。五、注意事项1. 维修环境需达到ISO 5级洁净度 2. 禁止徒手接触精密部件，需佩戴无粉3. 恢复运行前应进行泄漏检测（氦检漏率＜1×10^-9 Pa·m3/s）维修完成后需记录轴承更换周期、动平衡数据等关键参数，建议每运行8000小时或出现异常振动（振幅＞5μm）时进行预防性维护。维修需由持证人员进行，非人员严禁拆解电机驱动单元。