涡轮分子泵过载维修方法

涡轮分子泵过载维修方法一、故障诊断1. 过载表现：泵体异常振动、电流异常升高、控制器报警停机。2. 常见原因： - 机械故障：轴承磨损、转子不平衡、异物卡阻。 - 真空系统泄漏：前级真空不足导致负载过大。 - 电气问题：电机绕组短路、控制器参数异常。 - 操作失误：未按规程启动（如未预抽真空直接高速运行）。二、维修步骤1. 断电与泄压： - 切断电源，通过前级泵泄放真空至常压，确保操作安全。2. 机械检查： - 轴承检测：拆解泵体检查轴承磨损情况，更换变形或润滑失效的轴承。 - 转子清洁：用无尘布清洁转子叶片，检查动平衡（偏摆需校正）。 - 异物排查：用内窥镜检查泵腔，清除金属碎屑或颗粒物。3. 密封性检测： - 连接氦质谱检漏仪，排查泵体法兰、密封圈泄漏点，更换老化O型圈（建议使用氟橡胶材质）。4. 电气系统测试： - 测量电机绕组阻值（三相平衡误差应＜5%），检测驱动器输出波形。 - 校准控制器PID参数，恢复出厂设定后逐步调整转速阈值。5. 分阶段试运行： - 连接前级泵抽至10Pa以下，阶梯式升速（每次增幅≤20%），监测电流波动（正常值＜额定电流90%）。三、预防措施1. 安装入口过滤器（孔径≤5μm），防止颗粒物进入泵腔。2. 每2000小时更换润滑脂（如Krytox GPL系列）。3. 定期校准真空计与控制器，避免误触发过载保护。4. 停机时维持10P真空，避免大气压冲击轴承。总结：系统维护需兼顾机械、电气与操作规范，建议每年由团队进行保养。复杂故障（如转子动平衡失效）需返厂维修，避免二次损伤。