shimadzu分子泵保养拆解

Shimadzu分子泵作为高精度真空设备，其保养与拆解需严格遵循规范以确保性能稳定。以下为关键操作流程及注意事项： 一、拆解前准备1. 关闭电源并静置2小时，待转子完全停转2. 使用泄压阀释放腔体真空至常压3. 准备无尘操作台及工具包（含陶瓷镊子、防静电手套）二、分阶段拆解流程（1）外部组件拆卸- 拆除冷却水管时使用接水盘收集残余冷却液- 涡轮组件采用对角线松卸法逐步释放螺栓应力（2）部件处理- 转子提取需保持垂直姿态，防止磁轴承碰撞- 陶瓷轴承需用氟碳溶剂超声清洗（40kHz，30分钟）三、关键保养项目1. 轴承系统维护- 检查氮化硅滚珠磨损度（允许椭圆度0.8μm）- 更换润滑脂时采用真空脂定量填充（0.15±0.02ml）2. 动平衡校准- 使用激光动平衡仪检测，残余不平衡量应＜0.5g·mm/kg- 配重调整精度需达0.01g级别四、重组装注意事项- 真空密封面涂抹全氟聚醚密封脂- 分阶段预抽真空至5×10?3Pa后启动低速磨合（3000rpm/2h）建议每4000工作小时或累计启停500次后执行保养。拆装过程中需实时监测环境湿度（＜45%RH）及颗粒物浓度（CLASS 5洁净度）。异常振动值超过4.5mm/s时应立即停机排查。维护可延长分子泵使用寿命至30000小时以上。