高真空分子泵工作原理

高真空分子泵的工作原理主要基于气体分子的动量传递，其详细过程如下： 分子泵的部件是高速旋转的叶片（转子），这些叶片与定子之间形成微小的间隙。当转子的转速达到每分钟数万转的级别时，会产生强大的离心力场和牵引力场。此时进入气隙的气体分子会与快速运动的叶轮发生碰撞并获得动量，沿着叶的螺旋槽道被加速并导向排气口方向运动；同时受离心力的作用向四周扩散而被压缩并从出口排出。这一过程中会发生多次碰撞、吸附及解吸作用使得大量动能转化为内能或势能而终消耗掉从而使气体的压力降低达到抽气的目的。由于多级结构的设计每一级都进一步降低了系统的压强直至实现所需的超高真空度通常可达到10^-9Torr甚至更低水平范围。