轴流分子泵维修注意事项

轴流分子泵维修注意事项 轴流分子泵是真空系统设备，维修需遵循严格规范以确保性能与安全性。以下为维修关键注意事项： 1. 安全操作前置条件 - 维修前必须断电并泄压，避免残余气体或高速旋转部件引发事故。 - 佩戴防静电手环及无尘手套，防止静穿精密部件或污染内部腔体。 - 使用工具拆卸，禁止强行撬动泵体，避免叶轮变形或轴承损伤。 2. 拆装流程规范 - 按说明书顺序拆卸转子组件，记录每级叶轮与定子的相对位置，防止重装错位。 - 检查高速电机轴承预紧力，拆卸时使用拉拔器避免敲击导致轴承受损。 - 密封圈及O型圈需一次性更换，禁止重复使用已压缩老化的密封件。 3. 清洁与检查要点 - 使用无尘室环境（至少千级洁净度）清洁叶轮表面颗粒物，采用超声波清洗+高纯氮气吹扫。 - 重点检查转子叶片边缘是否缺损，定子流道有无划痕（超过5μm需抛光处理）。 - 磁悬浮轴承需检测线圈阻抗与间隙传感器数据，排除电磁干扰风险。 4. 性能验证与调试 - 组装后需低速空载运行2小时，监测振动值（应＜1.5mm/s）与异响。 - 使用氦质谱检漏仪检测密封面，泄漏率需＜1×10?? Pa·m3/s。 - 终真空度测试应达到额定指标的90%以上，否则需重新校准动平衡。 5. 维护周期管理 - 每2000小时更换润滑脂（全氟聚醚型），避免油脂碳化导致轴承卡滞。 - 建立维修档案，记录转子动平衡参数、轴承磨损量等关键数据。 特殊提示：涉及分子泵涡轮叶片维修需返厂处理，自行焊接可能破坏动平衡精度。维修后需进行72小时持续抽气测试，确保长期运行稳定性。