潽拓光电：氦气检漏仪维修

?氦气检漏仪（氦质谱检漏仪）的维修主要包括机械泵故障处理、分子泵故障处理以及质谱室故障处理等几个方面?。?机械泵故障处理?：机械泵无法启动：检查电源电压是否正常，开关是否打开，绕组是否断路或接地，电机是否过热（泵冷却后是否能启动）?。机械泵声音异常：检查油位是否合适，油质是否变质，油温是否过高，以及油雾过滤器的出口是否有气体排出（如无气体排出，需更换油雾过滤器）?。?分子泵故障处理?：TMP显示为0（分子泵没有工作）：可能是前级压力过高（分子泵启动压力通常为200Pa）导致分子泵无法启动，需检查真空规管、分子泵出口、机械泵油及机械泵旋转情况；也可能是分子泵的叶片或转子损坏，需用工具拨动叶片检查是否能转动；还可能是电路板上的保险丝烧断或电路板设置开关处于错误位置，需更换保险丝或检查短路现象，并将电路板设置开关置于正确位置?。分子泵加速指示灯不亮：更换保险丝或检查是否有短路现象?2。分子泵故障灯亮：检查电路板设置开关位置是否正确，以及风扇是否正常运行，如风扇正常则可能为分子泵电源故障?。?质谱室故障处理?：灯丝无法正常启动：在确认机械泵、分子泵处于正常工作状态后，若灯丝仍无法发射离子流，则需要更换离子源；若灯丝指示灯闪烁，需检查离子源航空插座与接线柱是否开路，以及接线柱与其他接头是否导通?