潽拓光电：分子泵抽速曲线

分子泵的抽速曲线是描述其在不同真空度下的排气速率变化的重要工具。该曲线的横坐标代表真空系统的压强或真空度，纵坐标则代表分子泵在该压强下的排气速度（即单位时间内排出的气体体积）。当系统内的压力较大时，随着压力的逐渐降低，分子泵的实际抽速会逐渐增加；但当系统内的压力降至某一临界值时，继续减小系统内部压力和进一步提高分子的平均自由程将不会使有效碰撞次数增多，反而会使参加动量交换的气体分子量减少，导致每转一圈所传递的总动量变小、气体的宏观流动变慢和压缩比下降等效应出现——此时若再进一步减压，就需增大叶片倾斜角度来提高对低速运动的气体的捕获能力并补偿因密度梯度造成的损失—但这也势必会引起扩散流阻的增加而使极限流量有所减小：因此在这一阶段中随着内部空间残余气压的不断降低以及外部大气与抽空容器之间压差越来越大等因素作用下会使得整个抽取过程中所需消耗功率急剧上升而效率却大幅度下滑直至终趋于停滞状态 —— 此时所对应的点即为峰值点后区域也即所谓的“饱和区”。曲线左端对应的是分子泵的极限真空值及其趋近于零时的理论流速条件限制所在位置 。整条抽速特性表征了从起始高背压下快速响应至接近本底水平期间持续运作的能力范畴及潜在瓶颈制约因素分布概况 。