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高纯氧用于二氧化硅的化学气相沉积;作为氧化源与产生高纯水的反应剂;干法氧化;与四氟化碳混合,用于等离子刻蚀。氧的主要用途源于它能维持生命和助燃性质;在冶金工业中有广泛应用。高纯氢气 全文
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氦气密度比空气小,能够一直悬浮于空中。2、相比于活泼易烧燃的氢气,氦气属于惰性气体,常温下稳定,几乎不与任何物体发生化学反应,保证安全。3、制备成本较低。高纯氩气 全文