请问：Edwards真空分子泵的维修方法有哪些？

Edwards进口分子泵使用高压强耐冲击分子泵同时配合控制电源使用，大大增强了仪器的可靠性，特别是当遇到炉管密封系统与在使用过程中的大气相通，导致系统会自动停止工作时，只需等待炉管密封系统恢复正常就可.. 全文

打开爱德华分子泵控制器之前，必须先打开冷却水阀。 分子泵的叶轮停止后，必须关闭冷却水阀。 全文

爱德华分子泵在运转过程中，出现频率从正常下降至一定频率后又恢复到正常，之后又下降至一定频率，再恢复到正常，反反复复，更换电源后现象仍如此，请问该现象如何解释？ 原因：负载太大，系统真空度不够 解决方法.. 全文

Pfeiffer涡轮分子泵无法达到全速，真空度抽不下去：请检查前级真空是否正常，如果是分子泵组，请先打开气镇阀抽一段时间后在观察下，无法解决问题建议立即送修检测 全文