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网友们请赐教！Edwards进口分子泵要怎么维修？

网友们请赐教！Edwards进口分子泵要怎么维修？
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  • 真空度很好的情况下，Edwards进口分子泵油为何会返到前级管道？ 原因：油池裂开或密封不良 解决方法：检查油池
  • Edwards进口分子泵为何会发生半边热，半边冷的现象？ 原因：附近有光照或其他热源 解决方法：避免光照或热源
  • 正常使用下，为什么Edwards进口分子泵油池会出现裂纹或者变形 原因：过热，负载大 解决措施：检查冷却系，检查系统
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