维修Edwards真空分子泵维修要注意什么？教期待大神解答

分子泵过流保护是确保设备稳定运行的重要机制。  分子泵过流保护原因及分类   当使用分子泵的过程中，若机体内部积聚过多的油脂或灰尘等杂质时会导致电流异.. 全文

Edwards进口分子泵使用高压强耐冲击分子泵同时配合控制电源使用，大大增强了仪器的可靠性，特别是当遇到炉管密封系统与在使用过程中的大气相通，导致系统会自动停止工作时，只需等待炉管密封系统恢复正常就可.. 全文

当Edwards真空分子泵未启动时，检查前级泵和电磁阀是否正常工作。当分子泵发生故障时，必须根据故障提示进行处理。 全文

爱德华分子泵维修低振动：磁悬浮意味着无摩擦，因此振动很低，此外这种特性能够保持不变，并且不会随零件磨损而化。 全文